超精密洗浄技術の開発 / 角田光雄監修 Development of ultra precision cleaning technologies 普及版
- 著者名角田, 光雄
- 出版者シーエムシー
- 出版年2000.9
貸出・返却・予約状況
- 所蔵数1
- 貸出可能数1
- 予約数0
所蔵事項
- 登録番号000054644
- 請求記号576.5-ツ
- 貸出区分帯出
- 蔵書区分一般資料 - 紙
- 所蔵館研究室
- 配架場所 技術
- 所蔵状態所蔵
書誌事項
- 書名超精密洗浄技術の開発 / 角田光雄監修 Development of ultra precision cleaning technologies 普及版
- 書名ヨミチョウセイミツセンジョウギジュツノカイハツ
- 著者名角田, 光雄
- 著者ヨミツノダ，テルオ
- 叢書名BA43744819
CMC books
- 版普及版
- ISBN488231083X
- 国名コードja
- 出版地東京
- 出版者シーエムシー
- 出版年2000.9
- ページiv, 247p
- サイズ21cm
- 価格3200円
- 件名洗浄法
- 内容20008981
- 内容紹介金澤千晶研究室